- 光致产酸剂(Photo Acid Generator,PAG) 是一类在光、射线、等离子体等辐射下能分解生成特定酸,酸可使酸敏树脂发生分解或者交联,从而使光照部分与非光照部分溶解,亲和性能产生差异,经过显影处理后形成影像。光致产酸剂(Photo Acid Generator,PAG)是光刻胶的核心部分,在光形式的辐射能,尤其在紫外区会发生相应的反应。[查看]
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